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ASML rivoluziona la biomedicina con la tecnologia EUV

I nanopori da 10 nanometri prodotti con tecnologia litografica EUV potrebbero accelerare lo sviluppo di sensori biomedicali per il rilevamento molecolare.

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Avatar di Antonello Buzzi

a cura di Antonello Buzzi

Senior Editor @Tom's Hardware Italia

Pubblicato il 22/12/2025 alle 11:40

La notizia in un minuto

  • IMEC ha completato la fabbricazione industriale di nanopori da 10 nanometri su wafer da 300mm utilizzando la tecnologia litografica EUV di ASML, gli stessi macchinari che producono i chip più avanzati al mondo
  • I nanopori funzionano come checkpoint molecolari che identificano virus, proteine e DNA attraverso variazioni di corrente ionica, con applicazioni che spaziano dalla diagnostica medica al sequenziamento genetico e alla filtrazione molecolare
  • La produzione su scala industriale potrebbe finalmente sbloccare il potenziale commerciale dei sensori biomedicali, anche se l'accesso ai costosi macchinari EUV rimane una sfida per i produttori non legati all'industria dei semiconduttori

Riassunto generato con l’IA. Potrebbe non essere accurato.

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L'industria dei semiconduttori dimostra ancora una volta come le tecnologie sviluppate per il computing possano trovare applicazioni rivoluzionarie in campi completamente diversi. IMEC, l'istituto di ricerca belga leader nelle nanotecnologie, ha completato con successo la fabbricazione su scala industriale di nanopori utilizzando i macchinari EUV (Extreme Ultraviolet) di ultima generazione prodotti da ASML. Si tratta di un risultato che potrebbe accelerare drammaticamente l'adozione di sensori biomedicali di nuova generazione, sfruttando la stessa tecnologia litografica che oggi produce i chip più avanzati al mondo.

I nanopori rappresentano una tecnologia chiave per il rilevamento molecolare ad altissima sensibilità. Parliamo di perforazioni con diametri di appena 10 nanometri, circa 10.000 volte più sottili di un capello umano. Queste minuscole aperture funzionano come veri e propri checkpoint molecolari: quando una molecola attraversa il nanoporo, modifica la corrente ionica che lo percorre, creando una firma elettrica distintiva che permette di identificare con precisione virus, proteine, DNA e altre strutture biologiche. Il principio fisico è elegante nella sua semplicità, ma richiede una precisione di fabbricazione estrema per essere implementato su scala industriale.

Fino ad oggi, la produzione di nanopori è rimasta confinata principalmente ai laboratori di ricerca, con processi lenti, costosi e scarsamente riproducibili. Le tecniche tradizionali non permettono la standardizzazione necessaria per una produzione di massa, limitando di fatto lo sviluppo commerciale di dispositivi biomedicali basati su questa tecnologia. La dimostrazione di IMEC cambia radicalmente questo scenario: utilizzando i sistemi di litografia EUV di ASML, gli stessi che incidono i transistor più piccoli dei chip moderni, i ricercatori sono riusciti a fabbricare nanopori altamente uniformi su wafer completi da 300mm, lo standard dell'industria dei semiconduttori.

La produzione su wafer da 300mm con tecnologia EUV permette di ottenere nanopori con diametri fino a 10 nanometri con uniformità e riproducibilità senza precedenti

L'aspetto più significativo del risultato ottenuto da IMEC risiede nella scalabilità del processo. Un wafer da 300mm rappresenta lo standard produttivo delle moderne foundry, e la capacità di fabbricare nanopori su questa scala significa poter sfruttare l'intera infrastruttura industriale dei semiconduttori. La precisione nanometrica della litografia EUV, che nell'industria dei chip viene utilizzata per realizzare nodi produttivi a 3nm e 5nm, trova qui un'applicazione inaspettata ma straordinariamente efficace. Come ha commentato il responsabile delle comunicazioni di ASML, si tratta di una "applicazione biomedica inaspettatamente straordinaria" per macchinari concepiti originariamente per fini completamente diversi.

Le implicazioni pratiche spaziano dal rilevamento di agenti patogeni alla filtrazione molecolare, fino allo stoccaggio di dati a livello molecolare. Modificando il diametro dei nanopori è possibile ottimizzare le loro proprietà per applicazioni specifiche: pori più stretti per il sequenziamento del DNA, dimensioni intermedie per il rilevamento di proteine virali, o configurazioni particolari per sistemi di filtrazione avanzati. La possibilità di produrre questi componenti con la precisione e la ripetibilità della fabbricazione di semiconduttori potrebbe finalmente sbloccare il potenziale commerciale dei sensori molecolari.

Rimane tuttavia una questione non banale: l'accessibilità ai macchinari EUV di ASML. Con l'industria dei semiconduttori in piena espansione e foundry come TSMC, Samsung e Intel che competono ferocemente per la capacità produttiva, ottenere tempo macchina su questi sistemi da centinaia di milioni di dollari non sarà semplice per i produttori di dispositivi biomedicali. Gli stessi ricercatori di IMEC sottolineano che questo rappresenta un passo verso una produzione di massa economicamente sostenibile, suggerendo che abbiano valutato la fattibilità economica dell'approccio. La speranza è che, con l'espansione della capacità produttiva EUV globale e l'introduzione dei nuovi sistemi High-NA EUV, si liberino risorse anche per queste applicazioni non tradizionali.

Fonte dell'articolo: www.tomshardware.com

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