Litografia
Fotolitografia: incisione fotografica
Il primo passo del processo di fabbricazione è la litografia, che consiste nello sviluppo di uno stampo che sarà poi usato per collocare differenti layer attivi, usando la proiezione ottica. L'incisione all'acquaforte è il passo successivo, con i wafer che vengono posizionati uno dopo l'altro e stampati secondo il pattern. Questo processo è il motivo che dona il nome "steppers" al macchinario (cioè porta a termine la creazione passo dopo passo).
Isolamento dalle vibrazioni
Dato che è necessario un altissimo livello di precisione meccanica per i movimenti del wafer tra le varie macchine, bisogna evitare qualsiasi fonte di vibrazione. La soluzione principale è l'isolamento delle apparecchiature, con sistemi atti ad assorbire le vibrazioni generate, con un isolamento dal suolo.